12英寸近间隔旋转蒸腾镀膜炉

　　RTP-II-CSS-300（内部称号：双温区管式炉 OTF-1200X-RTP-II-CSS-300

　　RTP-Ⅱ-CSS-300是一款12英寸近间隔旋转蒸腾镀膜炉，其炉腔体是Φ500mm的高真空不锈钢腔体，此款设备可用于蒸腾或CSS（Close Spaced Sublimation）镀膜试验，氧化物、半导体、或许太阳能基片退火试验，其载样台尺度Ф300，顶部载样台能够旋转进步镀膜均匀度。此款高温炉的加热元件是两组红外灯管（别离坐落顶部和底部），最大升温速率为20º/S

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　　· 热电偶两根：两根K型热电偶，一根用于测控上加热台，一根用于测控下加热台

　　一切的电气元件都经过UL或MET认可，并可经过全球规模内的其他相关安全测验

　　·炉腔体衔接有磁耦合真空推送器，推送器前端衔接有氮化铝挡板，在高真空状态下或气氛下能够对蒸镀源进行遮挡。

　　·上法兰敞开和封闭才用电动方法，由两个同步升降立柱履行，用PC机进行操控

　　·上法兰衔接有紧缩波纹管上加热台能够在真空或气氛下上下移动,调理上下加热台间隔，调理上下加热区的温差，上加热台移动移动规模：0-25mm

　　·上法兰衔接有磁流体+电滑环+水滑环进举动密封，上加热台经过步进电机进行旋转，旋转速度可调规模：1-10r/min

　　·上下加热渠道采取了圆形需求水冷，两组红外灯管在加热渠道内呈井字型摆放，使加热温场愈加均匀。

　　·可主动显现记载，温度，真空度，流量，等参数曲线条自定义配方工艺随时调用。

　　为了确保安全，主张运用压力小于0.02MPa，主张在本公司选购减压阀，本公司减

　　高速旋转涂布机（10Krpm&最大样品130mm（边长）,可选加热和UV罩）