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广东汇成真空请求倒挂镀膜的绷簧确定方式的磁控溅射镀膜机专利能确保质量

点击次数:1039  来源:欧宝体育官方入口  发布时间:2025-05-14 21:58:22  

  金融界2024年12月17日音讯,国家知识产权局信息数据显现,广东汇成真空科技股份有限公司请求一项名为“一种倒挂镀膜的绷簧确定方式的磁控溅射镀膜机”的专利,公开号 CN 119121162 A,请求日期为 2024 年 9 月。

  专利摘要显现,本发明公开了一种倒挂镀膜的绷簧确定方式的磁控溅射镀膜机,其包含真空镀膜室,在真空镀膜室的侧壁上设有产品送进口,真空镀膜室的中部设有公转架,在公转架上设有倒挂式自转架,倒挂式自转架包含下压组织、提高轴、绷簧和转轴,转轴笔直设置,转轴由同步电机带动滚动转轴的下端设有第定位结构,转轴设有中部通孔,提高轴穿于中部通孔中,提高轴的下端设有榜首对接结构,绷簧的弹力向上作用在提高轴上,下压组织用于往下压提高轴;磁控溅射镀膜机还包含工件架,工件架的上面设有第二对接结构和第二定位结构;磁控溅射镀膜机的溅射源设在真空镀膜室的底部。本发明能防止真空镀膜室内掉落的膜层及其他异物掉落到产品上,确保了镀膜质量。

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