一种真空镀膜腔体的清理洗涤方法及真空镀膜设备与流程

　　1、由于缝隙过于狭小不易操作，在清洗领域中对缝隙的清洗一直都是困扰工作人员的一个难题，在真空镀膜行业中，镀膜腔室内会设置具有隔气功能的隔板，该隔板会将镀膜腔室分隔成多个子腔室，当发生漏气时为了方便发现是否为隔板漏气，以及隔板漏气的位置，隔板通常会在一侧使用密封连接另一侧不使用密封连接，由于有一侧不使用密封连接所以在隔板和镀膜腔室之间的接触端面会产生缝隙，缝隙中可能会出现污渍残留没有办法进行清洗从而会影响生产质量。

　　1、本发明旨在至少解决现有技术中存在的技术问题之一。为此，本发明提出一种真空镀膜腔体的清洗方法，其通过隔板内部的清洗通道向缝隙处通入清洁液，从而清洗缝隙中的油污，该方法操作方便且对缝隙的油污的清洗效果好。

　　2、本发明还提出一种线、根据本发明的第一方面实施例的真空镀膜腔体的清洗方法，用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述箱体的内部具有镀膜腔室，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清洗方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，并使所述清洁剂从所述间隙中喷出。

　　4、根据本发明第一方面实施例的真空镀膜腔体的清洗方法，至少具有如下有益效果：本发明通过在隔板断面上设置清洗出口，并通过清洗入口对隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙进行清理洗涤，使得清洗油污更加的方便，也更加容易将油污清洗干净。

　　5、例如，在制造这个镀膜腔室的过程中，隔板或腔室内壁在切削，打磨的过程中会沾上油污，油污渗透进隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙中，从外部无法将油污清洗干净，通过清洗通道向清洗入口注入清洁剂，清洁剂会将油污一同从隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙排出，从而将隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙清洗干净。

　　6、相对来说，本发明中隔板端面与镀膜腔室内壁所形成的缝隙较小，所以在通过清洗入口向清洗出口注入清洁剂使需要较大的压强，而压强越大对油污所起到的冲击力也就越大，也就更加容易方便的将油污冲洗干净。

　　9、根据本发明的一些实施例，所述清洗剂包括酒精、丙酮、煤油、汽油、碳氢溶剂中的至少一种。

　　10、根据本发明的一些实施例，还包括以下步骤：在将所述清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道之前，在所述清洗入口上插入软管；所述清洁剂通过所述软管进入所述清洗通道。

　　11、根据本发明的一些实施例，还包括以下步骤：停止将所述清洁剂喷入所述清洗通道，然后将气体从所述清洗入口喷入所述清洗通道，使所述气体将残留的所述清洁剂从所述间隙中喷出。

　　12、根据本发明的第二方面实施例的真空镀膜设备，包括：箱体，内部具有镀膜腔室；隔板，与所述箱体连接，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有，所述隔板的内部还设有供清洁剂流动的若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通。

　　13、根据本发明的一些实施例，相邻的两个所述清洗出口之间的间隔不大于1000mm且不小于300mm。

　　14、根据本发明的一些实施例，所述第一面与所述箱体焊接并形成第一焊缝，所述第一焊缝覆盖所述第一面的底端边缘；

　　15、所述第二面与所述底壁焊接并形成多个间隔设置的第二焊缝，所述第二面的底端边缘未被所述第二焊缝覆盖的部分与所述底壁之间形成有所述间隙。

　　16、根据本发明的一些实施例，所述清洗出口的长度为500mm所述清洗出口上开设有凹槽。

　　17、根据本发明的第二方面实施例的真空镀膜设备，至少具有如下有益效果：通过清洗通道，方便对缝隙中的污渍进行清洗。

　　18、本发明的附加方面和优点将在下面的描述中部分给出，部分将从下面的描述中变得明显，或通过本发明的实践了解到。

　　1.真空镀膜腔体的清理洗涤方法，其特征在于，用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述箱体的内部具有镀膜腔室，所述隔板设置在所述镀膜腔内并将所述镀膜腔室分隔成两个子腔室，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面和所述第二面分别朝向不同的所述子腔室，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；

　　2.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体的清理洗涤方法，其特征在于，所述清洁剂被气体带动而进入所述清洗通道。

　　3.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体的清理洗涤方法，其特征在于，所述清洁剂为有机溶剂。

　　4.根据权利要求3所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，所述清洗剂包括酒精、丙酮、煤油、汽油、碳氢溶剂中的至少一种。

　　5.根据权利要求1所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，还包括以下步骤：在将所述清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道之前，在所述清洗入口上插入软管；

　　6.根据权利要求1至5中任一所述的真空镀膜腔体的清洗方法，其特征在于，还包括以下步骤：

　　8.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，相邻的两个所述清洗出口之间的间隔不大于1000mm且不小于300mm。

　　9.根据权利要求7所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述第一面与所述箱体焊接并形成第一焊缝，所述第一焊缝覆盖所述第一面的底端边缘；

　　10.根据权利要求8所述的真空镀膜设备，其特征在于，所述清洗出口的长度为500mm。

　　本发明提供了一种真空镀膜腔体的清洗方法及真空镀膜设备，方法有：用于清洗真空镀膜设备，所述真空镀膜设备包括相互连接的箱体和隔板，所述隔板的外表面包括相互背对设置的第一面和第二面，所述第一面的边缘与所述镀膜腔室的底壁密封连接，所述第二面的底端边缘与所述镀膜腔室的底壁之间设置有间隙，所述隔板的内部还设有若干清洗通道，所述清洗通道包括清洗入口和清洗出口，所述清洗入口设置在所述隔板的第二面，所述清洗出口位于所述隔板的端面并与所述间隙连通；所述清理洗涤方法包括以下步骤：将清洁剂从所述清洗入口喷入所述清洗通道，并使所述清洁剂从所述间隙中喷出。本发明的的方法和结构使对缝隙中的污渍的清理更加的方便。

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