更新时间:2025-05-28 08:47:50 来源:欧宝体育官方入口
证券之星音讯,依据天眼查APP多个方面数据显现拉普拉斯(688726)新取得一项实用新型专利授权,专利名为“镀膜炉体和镀膜设备”,专利请求号为CN5.9,授权日为2025年4月8日。
专利摘要:本请求提出一种具有自清洁功用的镀膜炉体和镀膜设备。镀膜炉体包含炉管、榜首密封组件、等离子体发生器和第二密封组件,炉管的内部构成有反响腔。本请求经过在炉管的外部设置等离子体发生器,并在炉管的两端别离设置榜首密封组件和第二密封组件以确保炉管在清洁时的密封性,并使等离子体发生器与榜首密封组件上的等离子进气口衔接,使得等离子体发生器发生的等离子体进入至反响腔内均匀分布,等离子体能与反响腔的非晶硅膜反响,然后能去除反响腔内一切石英件上的非晶硅膜,到达在线清洁和一起清洁的意图。
今年以来拉普拉斯新取得专利授权55个。结合公司2024年年报财务数据,2024年公司在研制方面投入了2.96亿元,同比增27.5%。
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