产品的姓名：近距离有机物蒸腾镀膜炉

　　近距离有机物蒸腾镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离提高)薄膜涂层3英寸直径或2×2。近距离蒸腾镀膜炉选用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精细温度操控器内置，精度为+/-1ºC。包含RS485端口和操控系统软件，答应经过PC操作炉子和温度曲线记载。它是研讨新一代太阳能电池薄膜的首要东西，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池

　　近距离有机物蒸腾镀膜炉是一种双加热区快速热处理炉，具有11外径的石英管。它是专为PVD或CSS(近距离提高)薄膜涂层3英寸直径或2×2。近距离蒸腾镀膜炉选用两组卤素加热器(顶部和底部)，zui大加热速率20ºC/s。两个30段精细温度操控器内置，精度为+/-1ºC。包含RS485端口和操控系统软件，答应经过PC操作炉子和温度曲线记载。它是研讨新一代太阳能电池薄膜的首要东西，如CdTe、硫化物和钙钛矿太阳能电池。

　　1、为了减小热辐射和到达快速冷却的作用，加热元件被嵌在水冷设备上。2、紧贴顶部加热元件上装有一氮化铝基片（Φ76mm×0.5mm），使得样品基片上的温度愈加均匀。3、3″的石墨坩埚可放于底部加热元件上，用于盛放蒸腾料。4、真空法兰经过两个硅胶O型圈进行密封，经过机械泵其腔内线torr，经过分子泵线、两个真空法兰都能够终究靠手动操作进行上下移动。6、一个数字式真空显现计安装在法兰顶部，能够精准丈量腔内真空度。

　　•法兰由双硅胶O形圈密封，可经过机械泵完成10E-2 Torr的真空压力，经过分子泵完成10E-5 Torr（不包含真空泵，请独自订货）

　　•包含一个高导热AlN板（3”直径×0.5mm厚），它应放在基板的反面，使其均匀加热

　　•每个操控器都具有PID自动调谐功用，以维护加热器免受过冲和报警功用，以防止过热和热电偶断开

　　两个加热器之间的zui大温差：=300℃取决于两个加热器之间的距离：