RTP快速退火工艺：提高MEMS器材高性能化的要害
点击次数：1039 来源：欧宝体育官方入口 发布时间：2025-06-27 17:17:41
可拓宽至6组工艺气体，兼容多资料（如Si/金属/压电资料），保证退火工艺的稳定性
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